＜装置の概要＞

電子顕微鏡の対物レンズの中に観察試料を挿入して高分解能観察を可能にする手法を活用し、 さらに強励磁短焦点レンズの開発や極微小領域での試料の汚れを防ぐ工夫、 従来比3倍以上の耐振性の向上等により、加速電圧30kV時に0.5nm、加速電圧1kV時では1.8nmという 世界最高の分解能を実現しました。

また、試料表面情報を観察する二次電子情報と試料の組成情報を観察 する反射電子情報をコントロールし、 高分解能の領域での組成情報や表面情報の強調など、ユーザ ーの目的に合わせた観察を可能とする 高分解能観察機能を搭載しています。